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电子货架(E-Rack)


适用场景:用于存放Reticle并将信息上传
设备特点:
1、LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息;
2、RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息;
3、XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.3MPa时),每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关,可控制吹扫频率,配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag,将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理,可实时查看E-Rack上Reticle存储情况

关键词:

电子货架(E-Rack)

所属分类:

E-Rack:电子货架

全自动晶圆搬运系统

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电子货架(E-Rack)


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